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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7713456	ＴＳＶ処理窓ならびに長いパルス出力および傾斜部形成による充填性能強化	2025年 7月25日
特許 7710475	シャンデリア型シャワーヘッドの取り付けのためのツールおよび方法	2025年 7月18日
特許 7710551	準安定活性ラジカル種を使用する原子層処置プロセス	2025年 7月18日
特許 7707188	基板支持部温度プローブの診断および管理	2025年 7月14日
特許 7706459	トランス結合型プラズマウィンドウ冷却用プレナムアセンブリ	2025年 7月11日
特許 7706463	ヒートスプレッダを備えた高温基板支持体	2025年 7月11日
特許 7706654	エッチストップ阻止のための金属酸化物ベースのフォトレジストの周期的現像	2025年 7月11日
特許 7705347	ボイドフリーの低応力充填	2025年 7月 9日
特許 7705349	抑制制御を伴うタングステンフィーチャ充填	2025年 7月 9日
特許 7705388	重力場センサを備えたウエハハンドリングロボット	2025年 7月 9日
特許 7704914	静電チャック内の電極のパラメータを設定および調節するためのインピーダンスを有するチューニング回路を備えたＲＦチューニングシステム	2025年 7月 8日
特許 7702392	モノリシック異方性基板支持体	2025年 7月 3日
特許 7702419	ＥＵＶパターニングにおける欠陥低減のための多層ハードマスク	2025年 7月 3日
特許 7702433	チャンバクリーニングにおける酸化スズの除去	2025年 7月 3日
特許 7702471	ギャップ充填時の蒸着およびエッチングのための装置および方法	2025年 7月 3日

215 件中 91-105 件を表示

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7713456 7710475 7710551 7707188 7706459 7706463 7706654 7705347 7705349 7705388 7704914 7702392 7702419 7702433 7702471

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