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  2025年 特許取得件数ランキング    第136位 215件 上昇2024年:第216位 154件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7739434 原子層エッチングにおけるエッチング選択性の制御 2025年 9月16日
特許 7738008 原子層堆積中の損失防止 2025年 9月11日
特許 7736722 半導体処理ツールのための着脱可能シャワーヘッドフェースプレート 2025年 9月 9日
特許 7734678 基板処理システム用のスタッドアレイ付き接合層を含む基板支持台 2025年 9月 5日
特許 7733684 プラズマ処理システムの無線周波数供給システムからプロセス制御情報を抽出するためのシステムおよび方法 2025年 9月 3日
特許 7733203 改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測 2025年 9月 2日
特許 7729951 エッチングリアクタ用のターボ分子ポンプおよびカソードアセンブリ 2025年 8月26日
特許 7728778 モリブデンの原子層エッチング 2025年 8月25日
特許 7728827 テレセントリックレンズ、光ビーム折り畳みアセンブリ、またはポリゴンスキャナを有するレンズ回路を含む原子層エッチングおよび原子層堆積の処理システム 2025年 8月25日
特許 7727030 最適化された低エネルギ/高生産性の蒸着システム 2025年 8月20日
特許 7725498 アルカリ電気めっき溶液からの電気充填 2025年 8月19日
特許 7725502 静電チャックの気化冷却 2025年 8月19日
特許 7725675 半導体製造用途における摩擦攪拌接合 2025年 8月19日
特許 7724926 基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング 2025年 8月18日
特許 7724927 基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング 2025年 8月18日

215 件中 61-75 件を表示

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7739434 7738008 7736722 7734678 7733684 7733203 7729951 7728778 7728827 7727030 7725498 7725502 7725675 7724926 7724927

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