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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7753351	ＴＣＰチャンバのガスプレートを浮遊させるためのキャリアリング	2025年10月14日
特許 7752131	基板支持アセンブリのフローティングＰＣＢ設計	2025年10月 9日
特許 7752139	複数の加熱ゾーンおよび熱ボイドを使用した台座熱プロファイルの調節	2025年10月 9日
特許 7752172	プラズマ処理システム用の可動エッジリング	2025年10月 9日
特許 7749784	無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換	2025年10月 6日
特許 7748495	基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御	2025年10月 2日
特許 7748515	電気メッキのための幅広リップシール	2025年10月 2日
特許 7748517	ＫＨＺＲＦ発生器の動作サイクル内でＭＨＺＲＦ発生器を調節するためのシステムおよび方法	2025年10月 2日
特許 7746453	基板処理システムのための温度調節された基板支持体	2025年 9月30日
特許 7744962	熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測	2025年 9月26日
特許 7743509	真のラジカル処理のためのリモートプラズマアーキテクチャ	2025年 9月24日
特許 7743527	機械的強度または寿命に影響を与えることのないプラズマ均一性のためのＣシュラウド改良	2025年 9月24日
特許 7742877	磁場を用いるプラズマ放電の不均一性制御	2025年 9月22日
特許 7741824	フラットボトムシャドーリング	2025年 9月18日
特許 7741097	ウエハエッジにおける材料特性を維持するためのリップシールエッジエクスクルージョン処理	2025年 9月17日

215 件中 46-60 件を表示

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7753351 7752131 7752139 7752172 7749784 7748495 7748515 7748517 7746453 7744962 7743509 7743527 7742877 7741824 7741097

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