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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7724227	放射状ガスカーテンおよび／または内部容積制御を備えたウエハハンドリングロボット	2025年 8月15日
特許 7721439	タングステン用モリブデンテンプレート	2025年 8月12日
特許 7720335	間欠的なよどみ流	2025年 8月 7日
特許 7720381	ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法	2025年 8月 7日
特許 7719781	自動回転プリアライメントを用いたエッジリング搬送	2025年 8月 6日
特許 7719925	伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器	2025年 8月 6日
特許 7718993	マルチゾーン台座の温度制御	2025年 8月 5日
特許 7719098	薄型基板ハンドリングにおける亀裂防止のための組合せ型コンタクトフィンガ	2025年 8月 5日
特許 7719166	マルチステーション処理モジュール用のリブカバー	2025年 8月 5日
特許 7717717	熱エッチングのための急速かつ正確な温度制御	2025年 8月 4日
特許 7716990	ＳｉＣｘＯｙのための核形成層としてのＳｉｘＮｙ	2025年 8月 1日
特許 7716425	基板処理システムにおけるシャワーヘッドのグルーピングフィーチャ	2025年 7月31日
特許 7715721	半導体処理チャンバの構成要素を調整する方法	2025年 7月30日
特許 7715779	粗さを低減するための原子層堆積及びエッチング	2025年 7月30日
特許 7714559	半導体用高弾性ホウ素系セラミックス	2025年 7月29日

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7724227 7721439 7720335 7720381 7719781 7719925 7718993 7719098 7719166 7717717 7716990 7716425 7715721 7715779 7714559

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