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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2020年 特許取得件数ランキング    第402位 64件 下降2019年:第385位 68件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6732649 ブランキングアパーチャアレイ装置および荷電粒子ビーム描画装置 2020年 7月29日
特許 6732680 マップ作成方法、マスク検査方法およびマスク検査装置 2020年 7月29日
特許 6727021 マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビームの照射方法及びマルチ荷電粒子ビームの調整方法 2020年 7月22日
特許 6718730 シャワープレート、気相成長装置及び気相成長方法 2020年 7月 8日
特許 6720861 マルチビーム用アパーチャセット及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2020年 7月 8日
特許 6717406 描画データ生成方法、プログラム、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、及びパターン検査装置 2020年 7月 1日
特許 6709109 マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置 2020年 6月10日
特許 6700152 マルチビーム焦点調整方法およびマルチビーム焦点測定方法 2020年 5月27日
特許 6700156 成膜装置 2020年 5月27日
特許 6702127 荷電粒子ビームの分解能測定方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2020年 5月27日
特許 6690216 データ処理方法、データ処理プログラム、荷電粒子ビーム描画方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 2020年 4月28日
特許 6690984 マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビームのブランキング装置 2020年 4月28日
特許 6684179 荷電粒子ビーム検査装置及び荷電粒子ビーム検査方法 2020年 4月22日
特許 6684586 マルチ荷電粒子ビーム装置 2020年 4月22日
特許 6679933 描画データ作成方法 2020年 4月15日

65 件中 31-45 件を表示

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6732649 6732680 6727021 6718730 6720861 6717406 6709109 6700152 6700156 6702127 6690216 6690984 6684179 6684586 6679933

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