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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第172位 256件
(2017年:第207位 254件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第188位 158件
(2017年:第227位 136件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6425714 | チャンバポートのためのガス装置、システム、及び方法 | 2018年11月21日 | |
特許 6422484 | ウエハの裏側及び表側からのウエハダイシング | 2018年11月14日 | |
特許 6422536 | 気相化学曝露による低誘電率誘電体の損傷修復 | 2018年11月14日 | |
特許 6423862 | 能動的に位置合わせされるファインメタルマスク | 2018年11月14日 | |
特許 6423880 | インシトゥで取り出すことができる静電チャック | 2018年11月14日 | |
特許 6419104 | 照明システム | 2018年11月 7日 | |
特許 6419842 | 高周波(RF)および直流(DC)エネルギーを1つまたは複数の共通電極に結合させるためのキャパシタアセンブリ | 2018年11月 7日 | |
特許 6420310 | 超平滑層紫外線リソグラフィミラー及びブランク、及びそのための製造及びリソグラフィシステム | 2018年11月 7日 | |
特許 6411385 | 金属アミド堆積前駆体及び不活性アンプルライナによるそれらの安定化 | 2018年10月24日 | |
特許 6411675 | 堆積速度を測定するための方法及び堆積速度制御システム | 2018年10月24日 | |
特許 6412498 | 堆積プロセスの同期のための方法および装置 | 2018年10月24日 | |
特許 6412983 | 間隙検出用のインテリジェントなハードストップと制御機構 | 2018年10月24日 | |
特許 6412984 | カルーセル原子層堆積のための装置および方法 | 2018年10月24日 | |
特許 6412987 | インサイチュチャンバ処理および堆積プロセス | 2018年10月24日 | |
特許 6407716 | 薄膜電池製造の方法および薄膜電池製造用のハイブリッド工場 | 2018年10月17日 |
158 件中 16-30 件を表示
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6425714 6422484 6422536 6423862 6423880 6419104 6419842 6420310 6411385 6411675 6412498 6412983 6412984 6412987 6407716
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9月2日(火) -
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9月4日(木) -
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9月12日(金) -
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