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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第172位 256件
(2017年:第207位 254件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第188位 158件
(2017年:第227位 136件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6408477 | 高アスペクト比半導体デバイス構造のための、汚染物質除去を伴うスティクションフリー乾燥処理 | 2018年10月17日 | |
特許 6408606 | マスキングされたエッジを有する支持リング | 2018年10月17日 | |
特許 6404296 | 静電チャックの窒化アルミ誘電体の修復方法 | 2018年10月10日 | |
特許 6404355 | 温度プロファイル制御装置を有する加熱基板支持体 | 2018年10月10日 | |
特許 6396367 | PVDアレイ用の多方向レーストラック回転カソード | 2018年 9月26日 | |
特許 6396408 | 静電チャックの修理および改修のための方法および装置 | 2018年 9月26日 | |
特許 6396409 | EPIプロセスのための均一性調整レンズを有するサセプタ支持シャフト | 2018年 9月26日 | |
特許 6397029 | エピ予熱リング | 2018年 9月26日 | |
特許 6397896 | Si貫通電極露出処理の音響的なモニター及び制御のための装置及び方法 | 2018年 9月26日 | |
特許 6391662 | プラズマエッチング作業工程用の基板支持体 | 2018年 9月19日 | |
特許 6392760 | ラジカルの化学的性質の複数の流れ経路を使用した調節及び制御 | 2018年 9月19日 | |
特許 6393826 | 回転カソード用のシールド装置、回転カソード、及び堆積機器中の暗部のシールド方法 | 2018年 9月19日 | |
特許 6388876 | 石英の上部ドーム及び下部ドーム | 2018年 9月12日 | |
特許 6389181 | 基板を結合する方法 | 2018年 9月12日 | |
特許 6385487 | 基板をコーティングするための方法およびコータ | 2018年 9月 5日 |
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6408477 6408606 6404296 6404355 6396367 6396408 6396409 6397029 6397896 6391662 6392760 6393826 6388876 6389181 6385487
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