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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2020年 特許取得件数ランキング    第136位 210件 上昇2019年:第156位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6793647 堆積のモニタリングシステム及びその操作方法 2020年12月 2日
特許 6794464 薄い研磨パッド内の窓 2020年12月 2日
特許 6795686 高密度、低応力のアモルファスカーボン膜、ならびにその堆積のための方法および装置 2020年12月 2日
特許 6796066 高温RF用途のための静電チャック 2020年12月 2日
特許 6789909 プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 2020年11月25日
特許 6791732 フォトレジストウエハの露光後プロセスの方法及び装置 2020年11月25日
特許 6792455 エンボス付き頂板および冷却チャネルを有する静電チャック 2020年11月25日
特許 6787868 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ 2020年11月18日
特許 6782702 高品質FCVD膜バックグラウンド用の先進的処理フロー 2020年11月11日
特許 6784774 ガスの均一な流れを提供する装置および方法 2020年11月11日
特許 6778686 次世代先進プラズマ技術のためのチャンバ本体設計アーキテクチャ 2020年11月 4日
特許 6780015 水平ゲートオールアラウンドデバイスのナノワイヤの空隙スペーサ形成 2020年11月 4日
特許 6776375 容量マイクロセンサを有するウエハ処理装置 2020年10月28日
特許 6778176 基板の厚さプロファイルの調節 2020年10月28日
特許 6778275 基板のコーティング方法および基板のコーティング装置 2020年10月28日

211 件中 16-30 件を表示

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6793647 6794464 6795686 6796066 6789909 6791732 6792455 6787868 6782702 6784774 6778686 6780015 6776375 6778176 6778275

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