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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第138位 311件
(
2019年:第141位 330件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第136位 210件
(
2019年:第156位 176件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6793647 | 堆積のモニタリングシステム及びその操作方法 | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6794464 | 薄い研磨パッド内の窓 | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6795686 | 高密度、低応力のアモルファスカーボン膜、ならびにその堆積のための方法および装置 | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6796066 | 高温RF用途のための静電チャック | 2020年12月 2日 | |
| 特許 6789909 | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 | 2020年11月25日 | |
| 特許 6791732 | フォトレジストウエハの露光後プロセスの方法及び装置 | 2020年11月25日 | |
| 特許 6792455 | エンボス付き頂板および冷却チャネルを有する静電チャック | 2020年11月25日 | |
| 特許 6787868 | 低K及びその他の誘電体膜をエッチングするための処理チャンバ | 2020年11月18日 | |
| 特許 6782702 | 高品質FCVD膜バックグラウンド用の先進的処理フロー | 2020年11月11日 | |
| 特許 6784774 | ガスの均一な流れを提供する装置および方法 | 2020年11月11日 | |
| 特許 6778686 | 次世代先進プラズマ技術のためのチャンバ本体設計アーキテクチャ | 2020年11月 4日 | |
| 特許 6780015 | 水平ゲートオールアラウンドデバイスのナノワイヤの空隙スペーサ形成 | 2020年11月 4日 | |
| 特許 6776375 | 容量マイクロセンサを有するウエハ処理装置 | 2020年10月28日 | |
| 特許 6778176 | 基板の厚さプロファイルの調節 | 2020年10月28日 | |
| 特許 6778275 | 基板のコーティング方法および基板のコーティング装置 | 2020年10月28日 |
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6793647 6794464 6795686 6796066 6789909 6791732 6792455 6787868 6782702 6784774 6778686 6780015 6776375 6778176 6778275
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【大阪会場】 前田知財塾 ~スキルアップ編~ 知財の仕事を、もっと深く、もっと面白く! 第2回 「特許権侵害判断・回避構造の検討」
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