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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第132位 313件
(2020年:第138位 311件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第117位 241件
(2020年:第136位 210件)
(ランキング更新日:2025年6月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6916789 | マルチターゲットを同時スパッタリングするための方法および装置 | 2021年 8月11日 | |
特許 6917894 | 膜応力低減および動作温度低減用に構成された3D印刷されたチャンバ部品 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918146 | 液体および固体の排出物を収集して後に反応させて気体の排出物にする装置 | 2021年 8月11日 | |
特許 6918809 | 化学機械研磨用の小さいパッドのためのキャリア | 2021年 8月11日 | |
特許 6912540 | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 | 2021年 8月 4日 | |
特許 6913752 | 核形成のない間隙充填ALDプロセス | 2021年 8月 4日 | |
特許 6913761 | 改善された電極アセンブリ | 2021年 8月 4日 | |
特許 6914191 | 追従性のある研磨パッド及び研磨モジュール | 2021年 8月 4日 | |
特許 6915002 | シャドーフレームを除去するためのガス閉じ込め装置アセンブリ | 2021年 8月 4日 | |
特許 6908626 | 亀裂が低減されたロボットサブアセンブリ、エンドエフェクタアセンブリ、及び方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6908660 | ウェハ処理機器の化学制御機構 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910433 | 磁気トンネル接合を堆積するための超平滑底部電極面の形成方法 | 2021年 7月28日 | |
特許 6910443 | フォアライン固形物形成定量化のための水晶振動子微量天秤の利用 | 2021年 7月28日 | |
特許 6905009 | 基板支持とバッフルの装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6905153 | リフトピンホルダー | 2021年 7月21日 |
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6916789 6917894 6918146 6918809 6912540 6913752 6913761 6914191 6915002 6908626 6908660 6910433 6910443 6905009 6905153
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