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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2021年 特許取得件数ランキング    第117位 241件 上昇2020年:第136位 210件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6948394 薄膜封止処理システムおよびプロセスキット 2021年10月13日
特許 6946320 スペーサ用の窒化ケイ素膜の選択的堆積 2021年10月 6日
特許 6946410 スパッタ堆積源、スパッタ堆積装置及びスパッタ堆積源を操作する方法 2021年10月 6日
特許 6946463 ワードライン抵抗を低下させる方法 2021年10月 6日
特許 6940495 所望のゼータ電位を有する研磨用物品を形成するための装置及び方法 2021年 9月29日
特許 6940497 CMPプロセスのトラッキングデータを3D印刷されたCMP消耗材と組み合わせるための技法 2021年 9月29日
特許 6940589 堆積装置 2021年 9月29日
特許 6941564 蒸発した材料を堆積させるための蒸発源、及び蒸発した材料を堆積させるための方法 2021年 9月29日
特許 6941618 付加製造で製造される形状の補正 2021年 9月29日
特許 6942121 基板キャリアシステム 2021年 9月29日
特許 6942188 低温窒化ケイ素膜のための方法及び装置 2021年 9月29日
特許 6936884 改良されたフロー均一性/ガスコンダクタンスを備えた可変処理容積に対処するための対称チャンバ本体設計アーキテクチャ 2021年 9月22日
特許 6937354 高対称四重ガス注入によるプラズマリアクタ 2021年 9月22日
特許 6937753 融合されたカバーリング 2021年 9月22日
特許 6938585 一体型センサを有する化学機械研磨保持リング 2021年 9月22日

242 件中 61-75 件を表示

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6948394 6946320 6946410 6946463 6940495 6940497 6940589 6941564 6941618 6942121 6942188 6936884 6937354 6937753 6938585

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