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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第132位 313件
(2020年:第138位 311件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第117位 241件
(2020年:第136位 210件)
(ランキング更新日:2025年6月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6891127 | 特徴を含む内面を有する保持リング | 2021年 6月18日 | |
特許 6886020 | 移動基板の完全プラズマ被覆のための動的フェーズドアレイプラズマ源 | 2021年 6月16日 | |
特許 6886526 | 基板を加熱し、ロードロック内の汚染を低減するための電子デバイス製造システム、方法、及び装置 | 2021年 6月16日 | |
特許 6888007 | ウェハエッジリングの持ち上げに関する解決 | 2021年 6月16日 | |
特許 6888103 | 非ブレーズドDMDを伴う解像度強化型のデジタルリソグラフィ | 2021年 6月16日 | |
特許 6888159 | チャンバ内部の流れを拡散させることによる低い粒子数及びより良好なウエハ品質のための効果的で新しい設計 | 2021年 6月16日 | |
特許 6884110 | 高温プロセス用の金属接合されたバッキングプレートを有する静電パックアセンブリ | 2021年 6月 9日 | |
特許 6879915 | 窒化アルミニウム(ALN)PVDプロセスのためのガス冷却型最小接触面積(MCA)静電チャック(ESC) | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880019 | CMPモニタリングのための色画像化 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880076 | 基板距離の監視 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880233 | 回転式サセプタ向けのプラズマ源 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6882316 | ワイヤグリッド偏光板製造方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6882467 | 可撓性機器フロントエンドモジュールインターフェース、環境制御された機器フロントエンドモジュール、及び組み付け方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6882469 | 高アスペクト比の構造体のための除去方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6882483 | 露光後処理装置 | 2021年 6月 2日 |
242 件中 136-150 件を表示
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6891127 6886020 6886526 6888007 6888103 6888159 6884110 6879915 6880019 6880076 6880233 6882316 6882467 6882469 6882483
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