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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第132位 313件
(2020年:第138位 311件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第117位 241件
(2020年:第136位 210件)
(ランキング更新日:2025年6月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6905557 | 多段冷却を有する装置 | 2021年 7月21日 | |
特許 6907217 | 横方向ハードマスク凹部縮小のためのハイブリッドカーボンハードマスク | 2021年 7月21日 | |
特許 6902053 | 照射硬化レンズを備える処理チャンバ | 2021年 7月14日 | |
特許 6902559 | オキシフッ化物を沈殿させるクリーニングプロセス | 2021年 7月14日 | |
特許 6903061 | Si貫通電極のメッキのプロセス及び化学作用 | 2021年 7月14日 | |
特許 6903110 | プラズマダイシング中のダイシングテープ熱管理のための冷却ペデスタル | 2021年 7月14日 | |
特許 6898379 | 印刷による化学機械研磨パッド | 2021年 7月 7日 | |
特許 6896069 | k近傍およびロジスティック回帰アプローチを用いた時系列異常検出、異常分類、ならびに遷移分析 | 2021年 6月30日 | |
特許 6896754 | 物理的気相堆積プロセスにおけるイオン分画を制御するための方法および装置 | 2021年 6月30日 | |
特許 6896869 | 反応性ガス及びバイアス電力によって、PVDカーボンの膜品質を改善するための方法 | 2021年 6月30日 | |
特許 6892439 | スロット付きグランドプレートを有するプラズマモジュール | 2021年 6月23日 | |
特許 6889792 | 紫外線リソグラフィ用ガラスセラミックス及びその製造方法 | 2021年 6月18日 | |
特許 6890418 | 最小限のクロストークで熱的に分離されたゾーンを有する静電チャック | 2021年 6月18日 | |
特許 6890550 | 高アスペクト比ビアの洗浄 | 2021年 6月18日 | |
特許 6891123 | 電子ビームプラズマリアクタおよびワークピース処理方法 | 2021年 6月18日 |
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6905557 6907217 6902053 6902559 6903061 6903110 6898379 6896069 6896754 6896869 6892439 6889792 6890418 6890550 6891123
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