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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第366位 102件 上昇2015年:第425位 82件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第337位 92件 上昇2015年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-177289 光学結像装置 2016年10月 6日
特開 2016-177292 マイクロリソグラフィ投影露光装置の素子を作動させる機構 2016年10月 6日
特開 2016-177310 調整機能を最適化した投影露光装置 2016年10月 6日
特表 2016-530502 質量分析計、その使用、およびガス混合物の質量分析検査の方法 2016年 9月29日
特表 2016-530553 中空光導波路アセンブリ 2016年 9月29日
特表 2016-529557 マイクロミラーアレイ 2016年 9月23日
特表 2016-528526 EUV結像装置 2016年 9月15日
特開 2016-164675 投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系 2016年 9月 8日
特開 2016-157103 構成体及び構成体を備えたリソグラフィ装置 2016年 9月 1日
特開 2016-157137 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 2016年 9月 1日
特開 2016-157145 偏光変調光学素子 2016年 9月 1日
特表 2016-525720 物体視野を像視野内に結像するための投影光学ユニット及びそのような投影光学ユニットを含む投影露光装置 2016年 8月25日
特開 2016-153895 マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法 2016年 8月25日
特表 2016-525224 リソグラフィ装置、リソグラフィ装置で使用するための位置決めシステム、および方法 2016年 8月22日
特表 2016-525231 光学コンポーネント 2016年 8月22日

104 件中 31-45 件を表示

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2016-177289 2016-177292 2016-177310 2016-530502 2016-530553 2016-529557 2016-528526 2016-164675 2016-157103 2016-157137 2016-157145 2016-525720 2016-153895 2016-525224 2016-525231

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