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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2016年 出願公開件数ランキング    第366位 102件 上昇2015年:第425位 82件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第337位 92件 上昇2015年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2016-525232 光学アセンブリ 2016年 8月22日
特開 2016-148873 結像光学系 2016年 8月18日
特表 2016-524182 基板内に構造を作製するためのシステム 2016年 8月12日
特表 2016-524184 光学素子及び当該光学素子に対する放射の影響を低減する手段を備えた光学コンポーネント 2016年 8月12日
特開 2016-145985 結像誤差の決定を行う光学結像装置 2016年 8月12日
特開 2016-146000 リソグラフィ投影対物器械を修正/修理する方法 2016年 8月12日
特表 2016-523379 フォトリソグラフィマスクの基板上のアラインメントマークの基準点の自動決定のための方法及びデバイス 2016年 8月 8日
特表 2016-523386 分離コーティングを有するミラーの表面補正 2016年 8月 8日
特表 2016-523388 マイクロリソグラフィ投影露光システムのミラー及びミラーを加工する方法 2016年 8月 8日
特開 2016-136253 マニピュレータを含む投影露光装置及び投影露光装置を制御する方法 2016年 7月28日
特表 2016-521373 放射コレクタ、放射源及びリソグラフィ装置 2016年 7月21日
特開 2016-128920 浸液蒸発作用の低い光学結像 2016年 7月14日
特表 2016-518619 光照射分布を変化させるマイクロリソグラフィ装置及び方法 2016年 6月23日
特表 2016-518624 多層コーティングを備えた光学素子及び当該光学素子を備えた光学装置 2016年 6月23日
特表 2016-517535 光学系の少なくとも1つの素子を作動させる構成体 2016年 6月16日

104 件中 46-60 件を表示

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2016-525232 2016-148873 2016-524182 2016-524184 2016-145985 2016-146000 2016-523379 2016-523386 2016-523388 2016-136253 2016-521373 2016-128920 2016-518619 2016-518624 2016-517535

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