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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第645位 45件 (2017年:第501位 77件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2018-124581 | リソグラフィ投影対物器械を修正/修理する方法 | 2018年 8月 9日 | |
特表 2018-521342 | 波面マニピュレータを有する投影レンズ、投影露光方法、及び投影露光装置 | 2018年 8月 2日 | |
特開 2018-120208 | EUV範囲のためのフォトリソグラフィマスクの要素を検査する方法及び装置 | 2018年 8月 2日 | |
特開 2018-120234 | 光モジュールへの力の影響を調整しうる光学装置 | 2018年 8月 2日 | |
特開 2018-120235 | 光学撮像装置および方法 | 2018年 8月 2日 | |
特開 2018-116294 | 変形可能な光学素子を有する光学装置 | 2018年 7月26日 | |
特開 2018-116301 | 光学素子 | 2018年 7月26日 | |
特表 2018-519535 | マイクロリソグラフィ投影装置を作動させる方法 | 2018年 7月19日 | |
特開 2018-112746 | マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置 | 2018年 7月19日 | |
特表 2018-518702 | マイクロリソグラフィ投影装置の照明系及びそのような系内の照射分布を調節する方法 | 2018年 7月12日 | |
特表 2018-518705 | リソグラフィシステムにおける多数のミラーのそれぞれの位置を決定するセンサ構成体及び方法 | 2018年 7月12日 | |
特表 2018-518019 | 質量分析によりガスを検査するための方法および質量分析計 | 2018年 7月 5日 | |
特開 2018-101150 | EUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット | 2018年 6月28日 | |
特表 2018-516373 | 走査プローブ顕微鏡のプローブを受け入れるためのプローブシステム及び方法 | 2018年 6月21日 | |
特表 2018-512625 | 物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置 | 2018年 5月17日 |
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2018-124581 2018-521342 2018-120208 2018-120234 2018-120235 2018-116294 2018-116301 2018-519535 2018-112746 2018-518702 2018-518705 2018-518019 2018-101150 2018-516373 2018-512625
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