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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2018年 出願公開件数ランキング    第645位 45件 下降2017年:第501位 77件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第367位 75件 上昇2017年:第394位 68件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-77534 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 2018年 5月17日
特表 2018-511783 ミラー検査用の検査装置および方法 2018年 4月26日
特表 2018-511818 EUV多層ミラー、多層ミラーを含む光学系及び多層ミラーを製造する方法 2018年 4月26日
特開 2018-55111 光学結像装置 2018年 4月 5日
特開 2018-55131 調整機能を最適化した投影露光装置 2018年 4月 5日
特表 2018-508803 波面測定デバイス及び光学波面マニピュレータを有する投影露光装置 2018年 3月29日
特表 2018-508808 放射線源モジュール 2018年 3月29日
特開 2018-41097 寄生負荷最小化光学素子モジュール 2018年 3月15日
特開 2018-41098 浸液蒸発作用の低い光学結像 2018年 3月15日
特開 2018-32641 ガス混合物の質量分析試験のための方法および質量分析計 2018年 3月 1日
特表 2018-504639 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 2018年 2月15日
特開 2018-18081 ソース中空体及びそのようなソース中空体を含むEUVプラズマ光源 2018年 2月 1日
特表 2018-501472 位置測定装置、及び測定対象物の位置を測定する方法 2018年 1月18日
特開 2018-10311 中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ 2018年 1月18日
特表 2018-500738 イオン化装置およびそれを有する質量分析計 2018年 1月11日

45 件中 31-45 件を表示

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2018-77534 2018-511783 2018-511818 2018-55111 2018-55131 2018-508803 2018-508808 2018-41097 2018-41098 2018-32641 2018-504639 2018-18081 2018-501472 2018-10311 2018-500738

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