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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第645位 45件 (2017年:第501位 77件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2018-77534 | 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 | 2018年 5月17日 | |
特表 2018-511783 | ミラー検査用の検査装置および方法 | 2018年 4月26日 | |
特表 2018-511818 | EUV多層ミラー、多層ミラーを含む光学系及び多層ミラーを製造する方法 | 2018年 4月26日 | |
特開 2018-55111 | 光学結像装置 | 2018年 4月 5日 | |
特開 2018-55131 | 調整機能を最適化した投影露光装置 | 2018年 4月 5日 | |
特表 2018-508803 | 波面測定デバイス及び光学波面マニピュレータを有する投影露光装置 | 2018年 3月29日 | |
特表 2018-508808 | 放射線源モジュール | 2018年 3月29日 | |
特開 2018-41097 | 寄生負荷最小化光学素子モジュール | 2018年 3月15日 | |
特開 2018-41098 | 浸液蒸発作用の低い光学結像 | 2018年 3月15日 | |
特開 2018-32641 | ガス混合物の質量分析試験のための方法および質量分析計 | 2018年 3月 1日 | |
特表 2018-504639 | 反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用 | 2018年 2月15日 | |
特開 2018-18081 | ソース中空体及びそのようなソース中空体を含むEUVプラズマ光源 | 2018年 2月 1日 | |
特表 2018-501472 | 位置測定装置、及び測定対象物の位置を測定する方法 | 2018年 1月18日 | |
特開 2018-10311 | 中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ | 2018年 1月18日 | |
特表 2018-500738 | イオン化装置およびそれを有する質量分析計 | 2018年 1月11日 |
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2018-77534 2018-511783 2018-511818 2018-55111 2018-55131 2018-508803 2018-508808 2018-41097 2018-41098 2018-32641 2018-504639 2018-18081 2018-501472 2018-10311 2018-500738
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11月22日(金) - 東京 港区
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11月22日(金) - 大阪 大阪市
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