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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第444位 78件
(2015年:第473位 71件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第483位 58件
(2015年:第1019位 20件)
(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5901607 | 使用可能スペクトル域が広い標本イメージング用の対物系 | 2016年 4月13日 | |
特許 5894158 | 多層オーバーレイ計測ターゲットおよび相補的オーバーレイ計測測定システム | 2016年 3月23日 | |
特許 5878198 | 表面検査装置および表面検査方法 | 2016年 3月 8日 | |
特許 5875793 | ウエハ検査用マルチスポット照射 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876272 | 高透過光学検査システム | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876837 | 二重トレイ運搬装置 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5871446 | 試験体上の欠陥を分類するためのコンピュータに実装された方法およびシステム | 2016年 3月 1日 | |
特許 5871929 | 集光光学系 | 2016年 3月 1日 | |
特許 5868396 | ウェハ検査ツールにおける深UVレーザの寿命の延長 | 2016年 2月24日 | |
特許 5868405 | 製造された基板を検査するための傾斜照明器 | 2016年 2月24日 | |
特許 5869657 | 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム | 2016年 2月24日 | |
特許 5852803 | ファイバ伝送を伴う低迷光ビームダンプ及びレーザシステム | 2016年 2月 3日 | |
特許 5848328 | 構造体の光学測定のための物質の光学的特性の決定方法 | 2016年 1月27日 |
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5901607 5894158 5878198 5875793 5876272 5876837 5871446 5871929 5868396 5868405 5869657 5852803 5848328
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