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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第444位 78件 (2015年:第473位 71件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2016-540970 | X線計測を使用する半導体デバイスのオーバーレイを測定するための方法及び装置 | 2016年12月28日 | |
特開 2016-225652 | 表面計測ツールにおける改善された局部的特徴定量化のための方法及びシステム | 2016年12月28日 | |
特表 2016-538678 | 電子ビーム検査及びレビューにおける向上した欠陥検出 | 2016年12月 8日 | |
特表 2016-538717 | プロセス誘起による歪みの予測、ならびにオーバーレイ誤差のフィードフォワード及びフィードバック修正 | 2016年12月 8日 | |
特表 2016-536609 | 多入射角半導体計測システム及び方法 | 2016年11月24日 | |
特表 2016-536796 | ウエハ検査システム内での基板表面の高速高度制御のための方法及びシステム | 2016年11月24日 | |
特開 2016-191719 | 設計ベースデバイスリスク評価 | 2016年11月10日 | |
特表 2016-534341 | 改善した検出感度のマルチスポット照明 | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-534398 | レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法 | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-534510 | レーザ励起光源においてポンプ(励起)光と集光光とを分離するためのシステム及び方法 | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-534536 | 非侵襲的荷電粒子ビームモニタ | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-534537 | SEMにおける向上した試料アクセスのためのノッチ付き磁気レンズ | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-534550 | ダイツーダイ検査のためのオートフォーカスシステム及び方法 | 2016年11月 4日 | |
特表 2016-532902 | マイクロリソグラフィパターン認定 | 2016年10月20日 | |
特表 2016-533041 | CMPによる障壁上に疎に分散された金属特徴のパターニングのためのダミー障壁層特徴 | 2016年10月20日 |
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2016-540970 2016-225652 2016-538678 2016-538717 2016-536609 2016-536796 2016-191719 2016-534341 2016-534398 2016-534510 2016-534536 2016-534537 2016-534550 2016-532902 2016-533041
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