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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2016年 出願公開件数ランキング    第444位 78件 上昇2015年:第473位 71件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第483位 58件 上昇2015年:第1019位 20件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2016-540970 X線計測を使用する半導体デバイスのオーバーレイを測定するための方法及び装置 2016年12月28日
特開 2016-225652 表面計測ツールにおける改善された局部的特徴定量化のための方法及びシステム 2016年12月28日
特表 2016-538678 電子ビーム検査及びレビューにおける向上した欠陥検出 2016年12月 8日
特表 2016-538717 プロセス誘起による歪みの予測、ならびにオーバーレイ誤差のフィードフォワード及びフィードバック修正 2016年12月 8日
特表 2016-536609 多入射角半導体計測システム及び方法 2016年11月24日
特表 2016-536796 ウエハ検査システム内での基板表面の高速高度制御のための方法及びシステム 2016年11月24日
特開 2016-191719 設計ベースデバイスリスク評価 2016年11月10日
特表 2016-534341 改善した検出感度のマルチスポット照明 2016年11月 4日
特表 2016-534398 レーザ持続プラズマ照明出力により試料を撮像するためのシステム及び方法 2016年11月 4日
特表 2016-534510 レーザ励起光源においてポンプ(励起)光と集光光とを分離するためのシステム及び方法 2016年11月 4日
特表 2016-534536 非侵襲的荷電粒子ビームモニタ 2016年11月 4日
特表 2016-534537 SEMにおける向上した試料アクセスのためのノッチ付き磁気レンズ 2016年11月 4日
特表 2016-534550 ダイツーダイ検査のためのオートフォーカスシステム及び方法 2016年11月 4日
特表 2016-532902 マイクロリソグラフィパターン認定 2016年10月20日
特表 2016-533041 CMPによる障壁上に疎に分散された金属特徴のパターニングのためのダミー障壁層特徴 2016年10月20日

78 件中 1-15 件を表示

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2016-540970 2016-225652 2016-538678 2016-538717 2016-536609 2016-536796 2016-191719 2016-534341 2016-534398 2016-534510 2016-534536 2016-534537 2016-534550 2016-532902 2016-533041

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