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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2016年 出願公開件数ランキング    第444位 78件 上昇2015年:第473位 71件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第483位 58件 上昇2015年:第1019位 20件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5963774 進歩したウェーハ表面ナノトポグラフィのためのオブジェクトに基づく計測方法及びシステム 2016年 8月 3日
特許 5964337 プロセス条件測定機器およびその方法 2016年 8月 3日
特許 5965467 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム 2016年 8月 3日
特許 5959648 プロセス認識メトロロジー 2016年 8月 2日
特許 5961595 統合化されたプロセス条件検知用ウェハおよびデータ解析システム 2016年 8月 2日
特許 5932723 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法及びシステム 2016年 6月 8日
特許 5925199 ウェーハ検査または計測設定のためのデータ擾乱 2016年 5月25日
特許 5921541 半導体装置レシピ管理方法 2016年 5月24日
特許 5919233 デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム 2016年 5月18日
特許 5916738 サブサンプリング方式を使用して装置起因の誤差を提供する方法およびシステム 2016年 5月11日
特許 5911489 プロセスツール修正値を提供するための方法およびシステム 2016年 4月27日
特許 5905009 リソグラフィ上重大な汚染フォトマスク欠陥のウェハ面検出 2016年 4月20日
特許 5905430 広帯域顕微鏡用カタジオプトリック結像系 2016年 4月20日
特許 5905466 モデルベースの細線手法を用いるレチクルの欠陥検査 2016年 4月20日
特許 5906490 自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における処理量低減装置及び方法 2016年 4月20日

58 件中 31-45 件を表示

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5963774 5964337 5965467 5959648 5961595 5932723 5925199 5921541 5919233 5916738 5911489 5905009 5905430 5905466 5906490

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