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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6490211	ウェハ欠陥発見	2019年 3月27日
特許 6492086	マスク上の構造体の位置を測定し、それによってマスク製造誤差を決定する方法	2019年 3月27日
特許 6486909	欠陥検出を強化するための最良の開口及びモードを発見するための装置及び方法	2019年 3月20日
特許 6486917	スキャトロメトリ測定のための照明配置	2019年 3月20日
特許 6488298	改善した検出感度のマルチスポット照明	2019年 3月20日
特許 6488301	半導体ターゲットの計測のための示差法及び装置	2019年 3月20日
特許 6480449	ブロック間レチクル検査	2019年 3月13日
特許 6478974	標的設計及び製造における誘導自己組織化	2019年 3月 6日
特許 6479683	１９３ｎｍのレーザー検査システム	2019年 3月 6日
特許 6476185	レーザ励起光源においてポンプ（励起）光と集光光とを分離するためのシステム	2019年 2月27日
特許 6472447	フォトマスク欠陥性における変化の監視	2019年 2月20日
特許 6461904	表面増強電場を用いた欠陥検出	2019年 1月30日
特許 6462022	向上したプロセス制御のための品質測定値を提供するための方法	2019年 1月30日
特許 6458107	ボロン層を有する裏面照光センサ	2019年 1月23日
特許 6452694	ダイツーダイ検査のためのオートフォーカスシステム及び方法	2019年 1月16日

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6490211 6492086 6486909 6486917 6488298 6488301 6480449 6478974 6479683 6476185 6472447 6461904 6462022 6458107 6452694

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