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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第296位 118件
(2021年:第424位 82件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第335位 90件
(2021年:第239位 120件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7095083 | 半導体計測用の液体金属回転式アノードX線照明源、X線ベース計測システム、X線放射発生方法 | 2022年 7月 4日 | |
特許 7095183 | モアレターゲット及びそれを用い半導体デバイスの位置ずれを計測する方法 | 2022年 7月 4日 | |
特許 7093828 | 自動式パターン忠実度測定計画生成 | 2022年 6月30日 | |
特許 7093429 | 拡張赤外分光エリプソメトリシステム | 2022年 6月29日 | |
特許 7086909 | 非線形光学結晶の不動態化 | 2022年 6月20日 | |
特許 7085630 | 計測ビーム安定化のためのシステムおよび方法 | 2022年 6月16日 | |
特許 7085642 | オーバレイ計量向けの局所的テレセントリシティ及び合焦最適化 | 2022年 6月16日 | |
特許 7084989 | ルテニウムで被包された光電陰極電子放出器 | 2022年 6月15日 | |
特許 7082660 | 光電陰極設計、および光電陰極を使用して電子ビームを生成する方法 | 2022年 6月 8日 | |
特許 7082674 | 複数の電子ビームを発生させる光電陰極エミッタシステム | 2022年 6月 8日 | |
特許 7080884 | 三次元半導体構造の検査用の欠陥発見およびレシピ最適化 | 2022年 6月 6日 | |
特許 7073413 | リピータ欠陥検出 | 2022年 5月23日 | |
特許 7071562 | 画像を用いたモデル依拠計量システム及び方法 | 2022年 5月19日 | |
特許 7072059 | シリコン電子エミッタデザイン | 2022年 5月19日 | |
特許 7069268 | 光電子増倍管及びその製造方法 | 2022年 5月17日 |
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7095083 7095183 7093828 7093429 7086909 7085630 7085642 7084989 7082660 7082674 7080884 7073413 7071562 7072059 7069268
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