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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7023223	レーザ維持プラズマ光源における無電極プラズマ点火のための照明源およびプラズマ光源	2022年 2月21日
特許 7023337	測定方法	2022年 2月21日
特許 7022773	極紫外光を発生させる装置	2022年 2月18日
特許 7018970	撮像ベースオーバーレイ及び散乱計測ベースオーバーレイのためのハイブリッドオーバーレイ標的設計	2022年 2月14日
特許 7015235	範囲に基づくリアルタイム走査電子顕微鏡非可視ビナー	2022年 2月 2日
特許 7014817	浮遊式ウェハチャック	2022年 2月 1日
特許 7012734	光学散乱計測に基づくプロセスに対してロバストなオーバーレイ計測	2022年 1月28日
特許 7011592	スキャトロメトリ計測におけるプロセス変動の根本原因の解析	2022年 1月26日
特許 7008792	実効媒体近似を使用した多層フィルム計測	2022年 1月25日
特許 7008809	高反射積層膜上の高吸光膜層の光学的測定	2022年 1月25日
特許 7004842	オーバレイ計測システムおよび方法	2022年 1月21日
特許 7001846	Ｘ線計量方法	2022年 1月20日
特許 7002579	正確なフォトレジスト輪郭予測のためのモデル	2022年 1月20日
特許 7003150	確率性を仮定した計量および加工	2022年 1月20日
特許 6987914	変調光源を備える光学計測ツール	2022年 1月 5日

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7023223 7023337 7022773 7018970 7015235 7014817 7012734 7011592 7008792 7008809 7004842 7001846 7002579 7003150 6987914

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