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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第296位 118件
(2021年:第424位 82件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第335位 90件
(2021年:第239位 120件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7069380 | レーザ生成プラズマ光源向けのドロップレット生成装置 | 2022年 5月17日 | |
特許 7060683 | 接地またはバイアスされたチャネルストップ接点を備えたイメージセンサ | 2022年 4月26日 | |
特許 7053683 | 偏光レティクル検査方法及び装置 | 2022年 4月12日 | |
特許 7052024 | 非対称構造の検出及び寸法計測 | 2022年 4月11日 | |
特許 7049331 | 半導体用途向けに構成された深層学習モデルのための診断システムおよび方法 | 2022年 4月 6日 | |
特許 7049465 | 二次元ナノインデンテーション装置及び方法 | 2022年 4月 6日 | |
特許 7046898 | 角度分解反射率測定における走査および回折の光計測からのアルゴリズム的除去 | 2022年 4月 4日 | |
特許 7044920 | 電子ビーム画像化装置及び方法 | 2022年 3月30日 | |
特許 7041666 | 走査電子顕微鏡検査装置および方法 | 2022年 3月24日 | |
特許 7038043 | レーザ維持プラズマ照明システム及び方法 | 2022年 3月17日 | |
特許 7037632 | 効率的プロセスウィンドウ発見用ハイブリッド検査システム | 2022年 3月16日 | |
特許 7035069 | 2つのフォトマスクを比較することによるフォトマスクの検査 | 2022年 3月14日 | |
特許 7033192 | 目標物分解を使用したオンデバイス計測 | 2022年 3月 9日 | |
特許 7030856 | 走査電子顕微鏡対物レンズ較正 | 2022年 3月 7日 | |
特許 7026719 | 光学式検査及び光学式レビューからの欠陥属性に基づく電子ビームレビューのための欠陥サンプリング | 2022年 2月28日 |
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7069380 7060683 7053683 7052024 7049331 7049465 7046898 7044920 7041666 7038043 7037632 7035069 7033192 7030856 7026719
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