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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2016年 出願公開件数ランキング    第396位 90件 下降2015年:第339位 112件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第324位 97件 下降2015年:第225位 132件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5941463 EUV露光装置 2016年 6月29日
特許 5933627 リソグラフィ装置 2016年 6月15日
特許 5931879 リソグラフィシステム内のフレア効果の補正 2016年 6月 8日
特許 5932635 リソグラフィ装置および検出装置 2016年 6月 8日
特許 5921548 リソグラフィ装置、EUV放射発生装置、およびデバイス製造方法 2016年 5月24日
特許 5922838 リソグラフィ装置用の回転フレームおよび投影システム 2016年 5月24日
特許 5919395 可動ステージシステム及びリソグラフィ装置 2016年 5月18日
特許 5913979 モデルベースのプロセスシミュレーション方法 2016年 5月11日
特許 5916696 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2016年 5月11日
特許 5916895 リソグラフィ装置、セットポイントデータを提供する装置、デバイス製造方法、セットポイントデータを提供する方法、およびコンピュータプログラム 2016年 5月11日
特許 5908045 メトロロジ装置、リソグラフィ装置、リソグラフィセル及びメトロロジ方法 2016年 4月26日
特許 5905126 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2016年 4月20日
特許 5898705 静電クランプ、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 2016年 4月 6日
特許 5897643 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び基板ホルダの製造方法 2016年 3月30日
特許 5893014 EUV光源のためのプレパルスを有する主発振器−電力増幅器駆動レーザ 2016年 3月23日

102 件中 61-75 件を表示

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5941463 5933627 5931879 5932635 5921548 5922838 5919395 5913979 5916696 5916895 5908045 5905126 5898705 5897643 5893014

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