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(
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5941463 | EUV露光装置 | 2016年 6月29日 | |
| 特許 5933627 | リソグラフィ装置 | 2016年 6月15日 | |
| 特許 5931879 | リソグラフィシステム内のフレア効果の補正 | 2016年 6月 8日 | |
| 特許 5932635 | リソグラフィ装置および検出装置 | 2016年 6月 8日 | |
| 特許 5921548 | リソグラフィ装置、EUV放射発生装置、およびデバイス製造方法 | 2016年 5月24日 | |
| 特許 5922838 | リソグラフィ装置用の回転フレームおよび投影システム | 2016年 5月24日 | |
| 特許 5919395 | 可動ステージシステム及びリソグラフィ装置 | 2016年 5月18日 | |
| 特許 5913979 | モデルベースのプロセスシミュレーション方法 | 2016年 5月11日 | |
| 特許 5916696 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2016年 5月11日 | |
| 特許 5916895 | リソグラフィ装置、セットポイントデータを提供する装置、デバイス製造方法、セットポイントデータを提供する方法、およびコンピュータプログラム | 2016年 5月11日 | |
| 特許 5908045 | メトロロジ装置、リソグラフィ装置、リソグラフィセル及びメトロロジ方法 | 2016年 4月26日 | |
| 特許 5905126 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2016年 4月20日 | |
| 特許 5898705 | 静電クランプ、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 | 2016年 4月 6日 | |
| 特許 5897643 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び基板ホルダの製造方法 | 2016年 3月30日 | |
| 特許 5893014 | EUV光源のためのプレパルスを有する主発振器−電力増幅器駆動レーザ | 2016年 3月23日 |
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5941463 5933627 5931879 5932635 5921548 5922838 5919395 5913979 5916696 5916895 5908045 5905126 5898705 5897643 5893014
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