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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2016年 出願公開件数ランキング    第396位 90件 下降2015年:第339位 112件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第324位 97件 下降2015年:第225位 132件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5873944 インプリントリソグラフィ装置及び方法 2016年 3月 1日
特許 5870142 光学要素を熱調整する方法およびシステム 2016年 2月24日
特許 5863955 アクチュエータ誘導式ノズル洗浄を備えた液滴発生器 2016年 2月17日
特許 5864752 焦点補正を決定する方法、リソグラフィ処理セル及びデバイス製造方法 2016年 2月17日
特許 5859426 光学部品を光軸調整するためのシステム及び方法 2016年 2月10日
特許 5856351 リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2016年 2月 9日
特許 5852069 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2016年 2月 3日
特許 5844571 リソグラフィ装置及びアライメント方法 2016年 1月20日
特許 5841187 リソグラフィ装置 2016年 1月13日
特許 5844154 スペクトル純度フィルタ、リソグラフィ装置およびスペクトル純度フィルタを製造する方法 2016年 1月13日
特許 5839865 電気接続システム、およびリソグラフィ装置 2016年 1月 6日
特許 5840303 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2016年 1月 6日

102 件中 91-102 件を表示

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5873944 5870142 5863955 5864752 5859426 5856351 5852069 5844571 5841187 5844154 5839865 5840303

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