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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2018年 出願公開件数ランキング    第314位 124件 上昇2017年:第379位 113件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第281位 102件 上昇2017年:第305位 95件)

(ランキング更新日:2025年2月18日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2018-536199 リソグラフィ装置のためのEUVソースチャンバーおよびガス流れ様式、多層ミラー、およびリソグラフィ装置 2018年12月 6日
特開 2018-194847 プロセスウィンドウを最適化する方法 2018年12月 6日
特開 2018-194854 リソグラフィ装置 2018年12月 6日
特開 2018-194860 放射源およびリソグラフィのための方法 2018年12月 6日
特表 2018-534598 減衰装置及び方法 2018年11月22日
特表 2018-534623 インプリント装置 2018年11月22日
特表 2018-534893 ローレンツアクチュエータ、オブジェクト位置決めシステム、リソグラフィ装置、及びローレンツアクチュエータ動作方法 2018年11月22日
特開 2018-185523 レーザビームパルスのタイミングを調整して極端紫外線光注入を調節する方法 2018年11月22日
特開 2018-185534 リソグラフィ方法 2018年11月22日
特開 2018-185548 ターゲット材料の供給および回収のための方法ならびに装置 2018年11月22日
特表 2018-533753 光学アイソレーションモジュール 2018年11月15日
特表 2018-533763 リソグラフィ装置用基板テーブル、および基板の装填方法 2018年11月15日
特表 2018-533053 2次元又は3次元の形状の階層的表現 2018年11月 8日
特表 2018-532138 極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御 2018年11月 1日
特表 2018-531407 トポグラフィ測定システム 2018年10月25日

128 件中 16-30 件を表示

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2018-536199 2018-194847 2018-194854 2018-194860 2018-534598 2018-534623 2018-534893 2018-185523 2018-185534 2018-185548 2018-533753 2018-533763 2018-533053 2018-532138 2018-531407

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