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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6715842 基板モデルパラメータを計算およびリソグラフィプロセスを制御する方法および装置 2020年 7月 1日
特許 6716779 ターゲットの測定方法、基板、計測装置およびリソグラフィ装置 2020年 7月 1日
特許 6712372 放射システム 2020年 6月24日
特許 6712349 アライメントシステム 2020年 6月17日
特許 6707657 パターニングプロセスパラメータを決定する方法及び装置 2020年 6月10日
特許 6703092 複数荷電粒子ビームの装置 2020年 6月 3日
特許 6703612 構造を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、およびデバイス製造方法 2020年 6月 3日
特許 6698063 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2020年 5月27日
特許 6698706 基板ホルダ、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2020年 5月27日
特許 6696887 光ファイバの構成体及びこのような構成体を形成する方法 2020年 5月20日
特許 6697530 計算的ウェーハ検査 2020年 5月20日
特許 6697551 メトロロジデータからの統計的階層的再構築 2020年 5月20日
特許 6697560 メトロロジ方法及び装置 2020年 5月20日
特許 6697563 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2020年 5月20日
特許 6697564 電磁モータ及びステージ装置 2020年 5月20日

126 件中 61-75 件を表示

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6715842 6716779 6712372 6712349 6707657 6703092 6703612 6698063 6698706 6696887 6697530 6697551 6697560 6697563 6697564

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