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■ 2020年 特許取得件数ランキング 第237位 122件 (2019年:第255位 108件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6697568 | 振動絶縁装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 | 2020年 5月20日 | |
特許 6691912 | 極端紫外線光源のための可変半径ミラーダイクロイックビームスプリッタモジュール | 2020年 5月13日 | |
特許 6694518 | パターニングデバイス冷却装置 | 2020年 5月13日 | |
特許 6687662 | オブジェクトホルダ及びリソグラフィ装置 | 2020年 4月28日 | |
特許 6687691 | 放射源およびリソグラフィのための方法 | 2020年 4月28日 | |
特許 6688738 | 重複線量およびフィーチャの減少によって改良されたステッチング | 2020年 4月28日 | |
特許 6689920 | リソグラフィ方法 | 2020年 4月28日 | |
特許 6685438 | 極端紫外線光源用のターゲット | 2020年 4月22日 | |
特許 6685914 | RFプラズマ電界を使用したEUV光学部品のアクティブ洗浄装置および方法 | 2020年 4月22日 | |
特許 6686097 | メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 | 2020年 4月22日 | |
特許 6687630 | マスクアセンブリ及び関連する方法 | 2020年 4月22日 | |
特許 6679722 | リソグラフィ装置および方法 | 2020年 4月15日 | |
特許 6681333 | 光増幅ガス媒質の触媒変換 | 2020年 4月15日 | |
特許 6681933 | リソグラフィ装置 | 2020年 4月15日 | |
特許 6681982 | 位置決めデバイス、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2020年 4月15日 |
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6697568 6691912 6694518 6687662 6687691 6688738 6689920 6685438 6685914 6686097 6687630 6679722 6681333 6681933 6681982
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