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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6697568 振動絶縁装置、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 2020年 5月20日
特許 6691912 極端紫外線光源のための可変半径ミラーダイクロイックビームスプリッタモジュール 2020年 5月13日
特許 6694518 パターニングデバイス冷却装置 2020年 5月13日
特許 6687662 オブジェクトホルダ及びリソグラフィ装置 2020年 4月28日
特許 6687691 放射源およびリソグラフィのための方法 2020年 4月28日
特許 6688738 重複線量およびフィーチャの減少によって改良されたステッチング 2020年 4月28日
特許 6689920 リソグラフィ方法 2020年 4月28日
特許 6685438 極端紫外線光源用のターゲット 2020年 4月22日
特許 6685914 RFプラズマ電界を使用したEUV光学部品のアクティブ洗浄装置および方法 2020年 4月22日
特許 6686097 メトロロジー方法、ターゲット、及び基板 2020年 4月22日
特許 6687630 マスクアセンブリ及び関連する方法 2020年 4月22日
特許 6679722 リソグラフィ装置および方法 2020年 4月15日
特許 6681333 光増幅ガス媒質の触媒変換 2020年 4月15日
特許 6681933 リソグラフィ装置 2020年 4月15日
特許 6681982 位置決めデバイス、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2020年 4月15日

126 件中 76-90 件を表示

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6697568 6691912 6694518 6687662 6687691 6688738 6689920 6685438 6685914 6686097 6687630 6679722 6681333 6681933 6681982

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