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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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　■　2020年出願公開件数ランキング　　　第286位　138件（2019年：第272位　151件）

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6649463	リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を用いてデバイスを製造する方法	2020年 2月19日
特許 6646576	放射源	2020年 2月14日
特許 6647282	放射源を監視するためのデバイス、放射源、放射源を監視する方法、デバイス製造方法	2020年 2月14日
特許 6648266	基板ホルダ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造する方法	2020年 2月14日
特許 6643337	リフレクタ	2020年 2月12日
特許 6644891	アクティブベースフレームサポートを有するリソグラフィ装置	2020年 2月12日
特許 6644898	構造を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、デバイス製造方法、およびそれらで使用する波長選択フィルタ	2020年 2月12日
特許 6644919	アライメント方法	2020年 2月12日
特許 6640236	レジスト変形を決定するための方法	2020年 2月 5日
特許 6641011	複数の荷電粒子ビームの装置	2020年 2月 5日
特許 6641422	プロセスウィンドウを最適化する方法	2020年 2月 5日
特許 6637188	基板ハンドリングシステムおよびリソグラフィ装置	2020年 1月29日
特許 6637943	リソグラフィパターニングプロセスおよび同プロセス内で使用するレジスト	2020年 1月29日
特許 6633686	リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造	2020年 1月22日
特許 6634429	リソグラフィ装置	2020年 1月22日

126 件中 106-120 件を表示

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6649463 6646576 6647282 6648266 6643337 6644891 6644898 6644919 6640236 6641011 6641422 6637188 6637943 6633686 6634429

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