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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6839787 | 放射源 | 2021年 3月10日 | |
特許 6837433 | ペリクル取り付け装置及びペリクル取り付け方法 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6830097 | 膜アセンブリを製造する方法 | 2021年 2月17日 | |
特許 6830104 | 水素輸送に対するバリアを有するEUV要素 | 2021年 2月17日 | |
特許 6831364 | LPP EUV光源におけるソースレーザの発射を制御するためのシステム及び方法 | 2021年 2月17日 | |
特許 6831784 | リソグラフィ製造プロセスに関する診断情報を取得するための方法および装置、診断装置を含むリソグラフィックプロセシングシステム | 2021年 2月17日 | |
特許 6824985 | EUVソースのためのノズル及び液滴発生器 | 2021年 2月 3日 | |
特許 6824999 | パターニングプロセスパラメータを決定する方法及び装置 | 2021年 2月 3日 | |
特許 6826692 | 振動絶縁システムおよびリソグラフィ装置 | 2021年 2月 3日 | |
特許 6820747 | レーザ光源における光電磁センサの較正 | 2021年 1月27日 | |
特許 6817468 | センサ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2021年 1月20日 | |
特許 6818129 | デバイスを製造するリソグラフィ装置及び方法 | 2021年 1月20日 | |
特許 6818881 | 圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置 | 2021年 1月20日 | |
特許 6812450 | パターン形成プロセスを制御する方法、リソグラフィ装置、メトロロジ装置リソグラフィックセル、および関連するコンピュータプログラム | 2021年 1月13日 | |
特許 6806841 | 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2021年 1月 6日 |
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6839787 6837433 6830097 6830104 6831364 6831784 6824985 6824999 6826692 6820747 6817468 6818129 6818881 6812450 6806841
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11月22日(金) -
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11月26日(火) - 東京 港区
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11月28日(木) - 京都 京都市
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11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
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11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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