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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2021年 出願公開件数ランキング    第339位 109件 下降2020年:第286位 138件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第239位 120件 下降2020年:第237位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6839787 放射源 2021年 3月10日
特許 6837433 ペリクル取り付け装置及びペリクル取り付け方法 2021年 3月 3日
特許 6830097 膜アセンブリを製造する方法 2021年 2月17日
特許 6830104 水素輸送に対するバリアを有するEUV要素 2021年 2月17日
特許 6831364 LPP EUV光源におけるソースレーザの発射を制御するためのシステム及び方法 2021年 2月17日
特許 6831784 リソグラフィ製造プロセスに関する診断情報を取得するための方法および装置、診断装置を含むリソグラフィックプロセシングシステム 2021年 2月17日
特許 6824985 EUVソースのためのノズル及び液滴発生器 2021年 2月 3日
特許 6824999 パターニングプロセスパラメータを決定する方法及び装置 2021年 2月 3日
特許 6826692 振動絶縁システムおよびリソグラフィ装置 2021年 2月 3日
特許 6820747 レーザ光源における光電磁センサの較正 2021年 1月27日
特許 6817468 センサ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2021年 1月20日
特許 6818129 デバイスを製造するリソグラフィ装置及び方法 2021年 1月20日
特許 6818881 圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置 2021年 1月20日
特許 6812450 パターン形成プロセスを制御する方法、リソグラフィ装置、メトロロジ装置リソグラフィックセル、および関連するコンピュータプログラム 2021年 1月13日
特許 6806841 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2021年 1月 6日

123 件中 106-120 件を表示

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6839787 6837433 6830097 6830104 6831364 6831784 6824985 6824999 6826692 6820747 6817468 6818129 6818881 6812450 6806841

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