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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2021年 特許取得件数ランキング    第239位 120件 下降2020年:第237位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6872519 レーザ作動光源 2021年 5月19日
特許 6872593 計測方法、コンピュータ製品およびシステム 2021年 5月19日
特許 6874137 エキシマ光源におけるスペックルの低減 2021年 5月19日
特許 6868109 リソグラフィ装置及びデバイスを製造する方法 2021年 5月12日
特許 6868571 リソグラフィ装置 2021年 5月12日
特許 6869242 リソグラフィ装置のためのEUVソースチャンバーおよびガス流れ様式、多層ミラー、およびリソグラフィ装置 2021年 5月12日
特許 6869359 パターンの位置決め精度を高めるための方法及びシステム 2021年 5月12日
特許 6871251 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2021年 5月12日
特許 6871740 露光プロセスにおける露光誤差を補償するための方法 2021年 5月12日
特許 6864725 極端紫外光源用搬送システム 2021年 4月28日
特許 6866463 ターゲット材料を供給するための装置及び方法 2021年 4月28日
特許 6861683 変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム 2021年 4月21日
特許 6862543 モータアセンブリ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2021年 4月21日
特許 6864096 計測センサ、リソグラフィ装置および内でのデバイス製造方法 2021年 4月21日
特許 6856758 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2021年 4月14日

123 件中 76-90 件を表示

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6872519 6872593 6874137 6868109 6868571 6869242 6869359 6871251 6871740 6864725 6866463 6861683 6862543 6864096 6856758

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