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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6945010	ターゲットを測定する方法、メトロロジ装置、リソグラフィセル及びターゲット	2021年10月 6日
特許 6946432	回転防止レンズ及びその調整方法並びにマルチビーム装置	2021年10月 6日
特許 6940529	デブリ低減システム、放射源及びリソグラフィ装置	2021年 9月29日
特許 6942224	測定基板および測定方法	2021年 9月29日
特許 6934541	メトロロジパラメータ決定及びメトロロジレシピ選択	2021年 9月15日
特許 6934560	荷電粒子遮断要素、このような要素を備えた露光装置、及びこのような露光装置を使用する方法	2021年 9月15日
特許 6933725	測定方法、デバイス製造方法、計測装置およびリソグラフィシステム	2021年 9月 8日
特許 6928609	ＥＵＶ容器及びＥＵＶコレクタのターゲット材料デブリクリーニングのためのシステム、方法、及び装置	2021年 9月 1日
特許 6929910	陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム	2021年 9月 1日
特許 6931119	パターニングプロセスパラメータを決定する方法	2021年 9月 1日
特許 6931317	アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム	2021年 9月 1日
特許 6920311	自由電子レーザ用電子源	2021年 8月18日
特許 6920474	リソグラフィ装置の焦点性能を測定するための方法並びにパターニングデバイス及び装置、デバイス製造方法	2021年 8月18日
特許 6920545	フィールドプログラマブル検出器アレイ	2021年 8月18日
特許 6921243	測定方法の性能を予測する方法及び装置、測定方法及び装置	2021年 8月18日

123 件中 31-45 件を表示

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6945010 6946432 6940529 6942224 6934541 6934560 6933725 6928609 6929910 6931119 6931317 6920311 6920474 6920545 6921243

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