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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第222位 169件 上昇2021年:第339位 109件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第259位 122件 下降2021年:第239位 120件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7169302 極端紫外線光源のための供給システム 2022年11月10日
特許 7169435 位置計測用メトロロジセンサ 2022年11月10日
特許 7169452 マルチビーム検査装置 2022年11月10日
特許 7167371 後方散乱粒子による埋め込みフィーチャの検出 2022年11月 8日
特許 7166315 ラジカルを輸送するための装置および方法 2022年11月 7日
特許 7165195 メトロロジプロセスを最適化する方法 2022年11月 2日
特許 7164605 リソグラフィ装置で使用するための基板ホルダ 2022年11月 1日
特許 7162666 像面検出技術を使用して対象のパラメータを測定するための方法及び装置 2022年10月28日
特許 7162738 構造物及び関連装置の検査方法及び装置 2022年10月28日
特許 7160681 極端紫外光源におけるオブジェクト上のプラズマの効果の軽減 2022年10月25日
特許 7159290 材料経路を進む材料を捕捉するためのレセプタクル 2022年10月24日
特許 7155148 リソグラフィ装置および冷却方法 2022年10月18日
特許 7154355 荷電粒子ビームシステムにおける汚染の除去及び/又は回避のための方法及びシステム 2022年10月17日
特許 7153641 光学システムにおける物理的効果の補償 2022年10月14日
特許 7153753 極端紫外光源用搬送システム 2022年10月14日

126 件中 16-30 件を表示

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7169302 7169435 7169452 7167371 7166315 7165195 7164605 7162666 7162738 7160681 7159290 7155148 7154355 7153641 7153753

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