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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7152597	走査中のビームの空間寸法を設定するための方法および装置	2022年10月13日
特許 7150838	関心対象特性を算出するメトロロジ装置及び方法	2022年10月11日
特許 7148692	複数の荷電粒子ビームを使用する装置	2022年10月 5日
特許 7144605	アライメントセンサの検出システム	2022年 9月29日
特許 7143445	マーク検出システムにおける測定ビームの所望の波長帯域幅を決定するための帯域幅計算システムおよび方法	2022年 9月28日
特許 7143526	並列アライメントマークを同時に獲得するための装置及びその方法	2022年 9月28日
特許 7140750	波長ベースの光フィルタリング	2022年 9月21日
特許 7138638	パターニングスタック最適化	2022年 9月16日
特許 7135009	マルチビーム装置におけるビームセパレータの分散を補償するためのシステム及び方法	2022年 9月12日
特許 7134226	検査ツール、リソグラフィ装置、電子ビーム源、及び検査方法	2022年 9月 9日
特許 7133536	リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造	2022年 9月 8日
特許 7130127	荷電粒子ビーム装置内のウェーハを熱調節するためのシステム及び方法	2022年 9月 2日
特許 7126543	圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置	2022年 8月26日
特許 7126032	ＥＵＶリソグラフィ用のメンブレン	2022年 8月25日
特許 7124071	基板上の１つ又は複数の構造の特性を決定するためのメトロロジシステムおよび方法	2022年 8月23日

126 件中 31-45 件を表示

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7152597 7150838 7148692 7144605 7143445 7143526 7140750 7138638 7135009 7134226 7133536 7130127 7126543 7126032 7124071

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