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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7124205	コンパクトなアライメントセンサ配置	2022年 8月23日
特許 7124212	マークの位置を測定するための装置及び方法	2022年 8月23日
特許 7123206	ペリクル取り付け装置及びペリクル取り付け方法	2022年 8月22日
特許 7122367	局所熱処理による多層グラフェンペリクルの同時両面コーティング	2022年 8月19日
特許 7121122	基板ホルダ、基板支持部、基板をクランプシステムにクランプする方法、およびリソグラフィ装置	2022年 8月17日
特許 7111776	基板支持部、リソグラフィ装置	2022年 8月 2日
特許 7110327	メトロロジ方法及び装置	2022年 8月 1日
特許 7110402	クライオスタット及び超電導コイルの層を含むアセンブリ及び当該アセンブリが設けられたモータシステム	2022年 8月 1日
特許 7110407	リソグラフィ測定のためのセンサ装置及び方法	2022年 8月 1日
特許 7108792	半導体検出器及びこれを製造する方法	2022年 7月28日
特許 7104718	ＥＵＶ光源においてデブリを制御するための装置及び方法	2022年 7月21日
特許 7104828	エキシマ光源におけるスペックルの低減	2022年 7月21日
特許 7102218	リソグラフィ装置及び方法	2022年 7月19日
特許 7101268	位置センサ	2022年 7月14日
特許 7100152	マルチビーム検査装置	2022年 7月12日

126 件中 46-60 件を表示

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7124205 7124212 7123206 7122367 7121122 7111776 7110327 7110402 7110407 7108792 7104718 7104828 7102218 7101268 7100152

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