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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7242299	メンブレンアセンブリ	2023年 3月20日
特許 7241828	流体ハンドリング構造及びリソグラフィ装置	2023年 3月17日
特許 7241017	リソグラフィ装置	2023年 3月16日
特許 7241027	レーザ生成プラズマ源	2023年 3月16日
特許 7241143	極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御	2023年 3月16日
特許 7240313	可変幅レーザパルスを使用したドーズ量制御及びレーザ安定化を伴うＥＵＶＬＰＰ源	2023年 3月15日
特許 7240322	極端紫外線光源のためのメトロロジシステム	2023年 3月15日
特許 7240463	基板保持デバイス、そのようなデバイスを製造するための方法、ならびに、サンプルを処理または像形成するための装置および方法	2023年 3月15日
特許 7239491	放射源	2023年 3月14日
特許 7234345	ステージ装置および物体搭載プロセスの較正方法	2023年 3月 7日
特許 7233503	荷電粒子の複数のビームを使用した装置	2023年 3月 6日
特許 7232911	電子ビーム画像向上のための完全自動ＳＥＭサンプリングシステム	2023年 3月 3日
特許 7232935	粒子ビーム装置に適したステージ装置	2023年 3月 3日
特許 7231475	インプリントリソグラフィ	2023年 3月 1日
特許 7231738	複数ビームを用いたインレンズウェーハプリチャージ及び検査	2023年 3月 1日

148 件中 121-135 件を表示

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7242299 7241828 7241017 7241027 7241143 7240313 7240322 7240463 7239491 7234345 7233503 7232911 7232935 7231475 7231738

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