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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7271628 検査装置の照明源、検査装置および検査方法 2023年 5月11日
特許 7271631 電子ビーム検査装置のステージ位置決め 2023年 5月11日
特許 7271704 シングルビームモードを備えたマルチビーム検査装置 2023年 5月11日
特許 7269889 放射源モジュール及びリソグラフィ装置 2023年 5月 9日
特許 7270072 干渉計システム、干渉計システムのレーザ源のモードホップを判定する方法、可動物体の位置を判定する方法、及びリソグラフィ装置 2023年 5月 9日
特許 7269351 リソグラフィ装置で用いる基板ホルダ及びデバイス製造方法 2023年 5月 8日
特許 7265981 極端紫外光源におけるターゲット軌道計測 2023年 4月27日
特許 7265493 情報を測定する装置及び方法 2023年 4月26日
特許 7265646 マルチビーム検査装置における二次ビームのアライメントのためのシステム及び方法 2023年 4月26日
特許 7265020 ステージシステム及びリソグラフィ装置 2023年 4月25日
特許 7263431 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2023年 4月24日
特許 7262641 極端紫外光源におけるターゲットの移動特性の決定 2023年 4月21日
特許 7261903 暗視野顕微鏡 2023年 4月20日
特許 7260669 斜めフィッティング技術に基づいてアライメントモデルを決定するための方法 2023年 4月18日
特許 7258878 ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 2023年 4月17日

148 件中 91-105 件を表示

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7271628 7271631 7271704 7269889 7270072 7269351 7265981 7265493 7265646 7265020 7263431 7262641 7261903 7260669 7258878

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