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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7312893 EUV光源においてデブリを制御するための装置及び方法 2023年 7月21日
特許 7312917 製造プロセスを制御するための方法及び関連装置 2023年 7月21日
特許 7311586 パルスストレッチャーおよび方法 2023年 7月19日
特許 7309748 スキャン露光装置を制御する方法 2023年 7月18日
特許 7309776 リソグラフィパターニングプロセスおよびそれに用いるレジスト 2023年 7月18日
特許 7308981 マルチ荷電粒子ビーム装置及びその動作方法 2023年 7月14日
特許 7307054 ペリクルフレーム及びペリクルアセンブリ 2023年 7月11日
特許 7305715 冷却装置及びその使用方法並びにリソグラフィ装置 2023年 7月10日
特許 7305792 フォトリソグラフィ結像の方法及び装置 2023年 7月10日
特許 7305826 複数荷電粒子ビームの装置 2023年 7月10日
特許 7304349 リソグラフィ装置を制御する方法および関連する装置 2023年 7月 6日
特許 7303342 荷電粒子源モジュール 2023年 7月 4日
特許 7302035 ミラー較正方法、位置測定方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2023年 7月 3日
特許 7299978 高電圧真空フィードスルー 2023年 6月28日
特許 7299406 メトロロジにおける補正不能誤差 2023年 6月27日

148 件中 61-75 件を表示

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7312893 7312917 7311586 7309748 7309776 7308981 7307054 7305715 7305792 7305826 7304349 7303342 7302035 7299978 7299406

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