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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7331238 基板高さを測定する装置及び方法 2023年 8月22日
特許 7330279 リフレクタ製造方法及び関連するリフレクタ 2023年 8月21日
特許 7325961 パターニングデバイス 2023年 8月15日
特許 7326292 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 2023年 8月15日
特許 7325501 濃縮及び放射性同位元素生成 2023年 8月14日
特許 7325606 ウェーハ接地のための方法、装置、及びシステム 2023年 8月14日
特許 7324751 レーザビームモニタリングシステム 2023年 8月10日
特許 7324768 放射ビームのための反射光学素子 2023年 8月10日
特許 7323642 多重荷電粒子ビーム装置 2023年 8月 8日
特許 7320505 真空容器内のデブリ流束測定システムの再生 2023年 8月 3日
特許 7318040 マスクアセンブリ 2023年 7月31日
特許 7315718 アプラナティック対物単レンズを含む計測ツール 2023年 7月26日
特許 7313825 EUV光源用のターゲット材料を精製するための方法及び装置 2023年 7月25日
特許 7312720 層状複合電極装置を有する静電保持装置およびその製造方法 2023年 7月21日
特許 7312755 2次元回折格子 2023年 7月21日

148 件中 46-60 件を表示

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7331238 7330279 7325961 7326292 7325501 7325606 7324751 7324768 7323642 7320505 7318040 7315718 7313825 7312720 7312755

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