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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第672位 45件
(2020年:第872位 31件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第701位 31件
(2020年:第547位 42件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6878459 | レーザ加工システム | 2021年 5月26日 | |
特許 6871995 | レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2021年 5月19日 | |
特許 6866471 | EUV光生成装置 | 2021年 4月28日 | |
特許 6856745 | 狭帯域化モジュール | 2021年 4月14日 | |
特許 6857669 | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 | 2021年 4月14日 | |
特許 6855570 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 | 2021年 4月 7日 | |
特許 6856653 | レーザ装置 | 2021年 4月 7日 | |
特許 6845255 | レーザ装置 | 2021年 3月17日 | |
特許 6839753 | ドロップレット吐出装置及び計算方法 | 2021年 3月10日 | |
特許 6841845 | レーザ装置及びレーザ加工システム | 2021年 3月10日 | |
特許 6838155 | レーザシステム、極端紫外光生成装置、及び極端紫外光生成方法 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6818996 | レーザドーピング装置及びレーザドーピング方法 | 2021年 1月27日 | |
特許 6816019 | エキシマレーザ装置 | 2021年 1月20日 | |
特許 6816099 | ビーム伝送システム、露光装置および露光装置の照明光学系 | 2021年 1月20日 | |
特許 6811835 | レーザ装置 | 2021年 1月13日 |
32 件中 16-30 件を表示
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6878459 6871995 6866471 6856745 6857669 6855570 6856653 6845255 6839753 6841845 6838155 6818996 6816019 6816099 6811835
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