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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6878459 | レーザ加工システム | 2021年 5月26日 | |
特許 6871995 | レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2021年 5月19日 | |
特許 6866471 | EUV光生成装置 | 2021年 4月28日 | |
特許 6856745 | 狭帯域化モジュール | 2021年 4月14日 | |
特許 6857669 | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 | 2021年 4月14日 | |
特許 6855570 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 | 2021年 4月 7日 | |
特許 6856653 | レーザ装置 | 2021年 4月 7日 | |
特許 6845255 | レーザ装置 | 2021年 3月17日 | |
特許 6839753 | ドロップレット吐出装置及び計算方法 | 2021年 3月10日 | |
特許 6841845 | レーザ装置及びレーザ加工システム | 2021年 3月10日 | |
特許 6838155 | レーザシステム、極端紫外光生成装置、及び極端紫外光生成方法 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6818996 | レーザドーピング装置及びレーザドーピング方法 | 2021年 1月27日 | |
特許 6816019 | エキシマレーザ装置 | 2021年 1月20日 | |
特許 6816099 | ビーム伝送システム、露光装置および露光装置の照明光学系 | 2021年 1月20日 | |
特許 6811835 | レーザ装置 | 2021年 1月13日 |
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6878459 6871995 6866471 6856745 6857669 6855570 6856653 6845255 6839753 6841845 6838155 6818996 6816019 6816099 6811835
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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