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ギガフォトン株式会社

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  2023年 特許取得件数ランキング    第779位 31件 上昇2022年:第933位 24件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7311296 EUVチャンバ装置、極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 2023年 7月19日
特許 7306888 極端紫外光生成システム、レーザビームサイズ制御方法及び電子デバイスの製造方法 2023年 7月11日
特許 7292387 レーザアニール装置及び電子デバイスの製造方法 2023年 6月16日
特許 7283686 高電圧パルス発生装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月30日
特許 7275248 狭帯域化モジュール、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月17日
特許 7273944 レーザ用チャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 5月15日
特許 7270652 レーザ加工装置及び被加工物の加工方法 2023年 5月10日
特許 7261683 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月20日
特許 7258028 リソグラフィシステムのメインテナンス管理方法、メインテナンス管理装置、及びコンピュータ可読媒体 2023年 4月14日
特許 7252214 レーザガス再生装置及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月 4日
特許 7252220 光パルスストレッチャー、レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 4月 4日
特許 7244436 エキシマレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月22日
特許 7239485 エキシマレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月14日
特許 7231560 光学素子の移動装置、狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2023年 3月 1日
特許 7231614 レーザガス管理システム、電子デバイスの製造方法及びエキシマレーザシステムの制御方法 2023年 3月 1日

32 件中 16-30 件を表示

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7311296 7306888 7292387 7283686 7275248 7273944 7270652 7261683 7258028 7252214 7252220 7244436 7239485 7231560 7231614

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