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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第1402位 17件
(2022年:第1474位 16件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第779位 31件
(2022年:第933位 24件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7311296 | EUVチャンバ装置、極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月19日 | |
特許 7306888 | 極端紫外光生成システム、レーザビームサイズ制御方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 7月11日 | |
特許 7292387 | レーザアニール装置及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 6月16日 | |
特許 7283686 | 高電圧パルス発生装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月30日 | |
特許 7275248 | 狭帯域化モジュール、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月17日 | |
特許 7273944 | レーザ用チャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 5月15日 | |
特許 7270652 | レーザ加工装置及び被加工物の加工方法 | 2023年 5月10日 | |
特許 7261683 | 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月20日 | |
特許 7258028 | リソグラフィシステムのメインテナンス管理方法、メインテナンス管理装置、及びコンピュータ可読媒体 | 2023年 4月14日 | |
特許 7252214 | レーザガス再生装置及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月 4日 | |
特許 7252220 | 光パルスストレッチャー、レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 4月 4日 | |
特許 7244436 | エキシマレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月22日 | |
特許 7239485 | エキシマレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月14日 | |
特許 7231560 | 光学素子の移動装置、狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年 3月 1日 | |
特許 7231614 | レーザガス管理システム、電子デバイスの製造方法及びエキシマレーザシステムの制御方法 | 2023年 3月 1日 |
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7311296 7306888 7292387 7283686 7275248 7273944 7270652 7261683 7258028 7252214 7252220 7244436 7239485 7231560 7231614
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10月17日(金) - 東京 千代田区
10月17日(金) - 神奈川 川崎市
10月17日(金) -
10月17日(金) - 東京 千代田区
10月20日(月) -
10月21日(火) -
10月21日(火) - 東京 港区
10月21日(火) - 東京 港区
10月21日(火) -
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10月21日(火) -
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10月22日(水) - 東京 品川
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10月22日(水) - 栃木 宇都宮市
10月23日(木) - 東京 港区
10月23日(木) -
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月24日(金) -
10月24日(金) - 東京 千代田区
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10月24日(金) -
10月20日(月) -
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