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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7496759	スズトラップ装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月 7日
特許 7496883	狭帯域化モジュール、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月 7日
特許 7496418	パルス幅伸長装置、レーザ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月 6日
特許 7496429	ガラスの加工方法	2024年 6月 6日
特許 7495506	狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月 4日
特許 7491737	ターゲット供給装置、ターゲット供給方法、及び電子デバイスの製造方法	2024年 5月28日
特許 7482225	レーザ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 5月13日
特許 7480275	露光システム、レーザ制御パラメータの作成方法、及び電子デバイスの製造方法	2024年 5月 9日
特許 7475433	レーザ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月26日
特許 7471906	極端紫外光生成装置、ターゲット制御方法、及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月22日
特許 7471156	極端紫外光集光ミラー及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月19日
特許 7467174	チャンバ装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月15日
特許 7461454	露光システム及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月 3日
特許 7461455	光伝送ユニット、レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月 3日
特許 7454038	露光システム、レーザ制御パラメータの作成方法、及び電子デバイスの製造方法	2024年 3月21日

38 件中 16-30 件を表示

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7496759 7496883 7496418 7496429 7495506 7491737 7482225 7480275 7475433 7471906 7471156 7467174 7461454 7461455 7454038

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