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株式会社SUMCO

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  2012年 出願公開件数ランキング    第289位 146件 下降2011年:第195位 221件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第367位 99件 上昇2011年:第419位 79件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5031190 歪みSi層を有する半導体ウェーハの製造方法 2012年 9月19日 共同出願
特許 5023451 シリコンウェーハの製造方法、シリコン単結晶育成方法 2012年 9月12日
特許 5023900 エピタキシャルシリコンウェーハ 2012年 9月12日
特許 5018609 単結晶引上げ装置 2012年 9月 5日
特許 5018640 単結晶製造装置の内部汚染度評価方法 2012年 9月 5日
特許 5017950 エピタキシャル成長装置の温度管理方法 2012年 9月 5日
特許 5018670 単結晶の育成方法 2012年 9月 5日
特許 5010091 高抵抗シリコンウェーハ 2012年 8月29日
特許 5012554 エピタキシャルウェーハの製造方法 2012年 8月29日
特許 5012721 シリコンエピタキシャルウェーハ 2012年 8月29日
特許 5003288 シリコンウェーハの評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 2012年 8月15日
特許 5003733 単結晶成長方法 2012年 8月15日
特許 4992246 シリコンウェーハ中のCu評価方法 2012年 8月 8日
特許 4992981 シリコンウェーハ洗浄方法 2012年 8月 8日
特許 4983161 シリコン半導体基板およびその製造方法 2012年 7月25日

99 件中 46-60 件を表示

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5031190 5023451 5023900 5018609 5018640 5017950 5018670 5010091 5012554 5012721 5003288 5003733 4992246 4992981 4983161

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