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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第737位 41件
(2013年:第585位 64件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第212位 189件
(2013年:第276位 144件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5510896 | キャリアプレート、複数のキャリアプレート、ウェーハの研磨装置、ウェーハの研磨方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5510256 | シリコンウェーハの製造方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5509741 | 単結晶の製造方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5509636 | シリコン単結晶の欠陥解析方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5510022 | ウェーハ評価方法 | 2014年 6月 4日 | |
特許 5505241 | シリコンウェーハの製造方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5507799 | 半導体ウェーハ研磨装置および研磨方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5504901 | 研磨パッドの形状修正方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5504667 | シリコンウェーハおよびその製造方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5504664 | シリコンエピタキシャルウェーハおよびその製造方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5505769 | 半導体ウェーハの表層評価方法 | 2014年 5月28日 | |
特許 5504606 | 半導体ウェーハの品質検査装置 | 2014年 5月28日 | |
特許 5505713 | 研磨液分配装置及びこれを備えた研磨装置 | 2014年 5月28日 | |
特許 5500672 | 石英ガラスルツボの製造装置および石英ガラスルツボの製造方法 | 2014年 5月21日 | |
特許 5500687 | シリカガラスルツボの製造方法および製造装置 | 2014年 5月21日 |
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5510896 5510256 5509741 5509636 5510022 5505241 5507799 5504901 5504667 5504664 5505769 5504606 5505713 5500672 5500687
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