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株式会社SUMCO

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  2013年 出願公開件数ランキング    第585位 64件 下降2012年:第289位 146件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第367位 99件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5228671 シリコン単結晶の育成方法 2013年 7月 3日
特許 5219334 半導体基板の製造方法および品質評価方法 2013年 6月26日
特許 5218039 気相成長装置 2013年 6月26日
特許 5223513 単結晶の製造方法 2013年 6月26日
特許 5212144 枚葉式CVD用チャンバのクリーニング方法 2013年 6月19日
特許 5217245 シリコン単結晶ウェーハ及びその製造方法 2013年 6月19日
特許 5212472 シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 2013年 6月19日
特許 5206613 エピタキシャルウェーハ用サセプタ、およびその製造方法、並びにそれを用いたエピタキシャル成長装置 2013年 6月12日
特許 5206282 エピタキシャルウェーハの製造方法 2013年 6月12日
特許 5206120 金属の分析方法および半導体ウェーハの製造方法 2013年 6月12日
特許 5211550 シリコン単結晶ウェーハの製造方法 2013年 6月12日
特許 5201083 シリコン単結晶の育成方法及びシリコン半導体基板の製造方法 2013年 6月 5日
特許 5201077 シリコンウェーハの製造方法 2013年 6月 5日
特許 5205810 シリコン単結晶ウェーハの製造方法 2013年 6月 5日
特許 5205738 シリコンウェーハの支持方法、熱処理治具および熱処理ウェーハ 2013年 6月 5日

144 件中 91-105 件を表示

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5228671 5219334 5218039 5223513 5212144 5217245 5212472 5206613 5206282 5206120 5211550 5201083 5201077 5205810 5205738

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