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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第404位 100件 (2011年:第330位 120件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第234位 161件 (2011年:第254位 138件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5077145 | シリコン単結晶基板の評価方法及びエピタキシャル基板の製造方法 | 2012年11月21日 | |
特許 5072204 | ウエーハの表面のナノトポグラフィを改善する方法及びワイヤソー装置 | 2012年11月14日 | |
特許 5071393 | プリコート型脱水処理装置及びプリコート型脱水処理装置のプリコート層の除去方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5071304 | 半導体ウエーハ及び半導体ウエーハの製造方法並びに半導体ウエーハの評価方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5070737 | CZ法により製造したシリコン結晶棒を原料としたFZ単結晶シリコンの製造方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5071484 | 化合物半導体エピタキシャルウェーハおよびその製造方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5072185 | 熱処理ボートの評価方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5071217 | 縦型熱処理用ボートおよびそれを用いたシリコンウエーハの熱処理方法 | 2012年11月14日 | |
特許 5067406 | シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶製造装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5067410 | 単結晶製造装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5067403 | 単結晶引き上げ装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5067627 | 多層シリコンウェーハ構造の作製法 | 2012年11月 7日 | |
特許 5067402 | 不活性ガス回収装置 | 2012年11月 7日 | |
特許 5066936 | SOIウエーハの製造方法 | 2012年11月 7日 | |
特許 5061663 | 縦型熱処理用ボートおよび半導体ウエーハの熱処理方法 | 2012年10月31日 |
161 件中 16-30 件を表示
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5077145 5072204 5071393 5071304 5070737 5071484 5072185 5071217 5067406 5067410 5067403 5067627 5067402 5066936 5061663
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