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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第437位 89件 上昇2011年:第539位 67件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第478位 72件 上昇2011年:第817位 34件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-212910 取扱い可能な絞り又は開口絞りを備えたマイクロリソグラフィー投影光学系 2012年11月 1日
特開 2012-209584 マイクロリソグラフィ投影露光装置用の照明光学系 2012年10月25日
特表 2012-526368 浸液蒸発作用の低い光学結像 2012年10月25日
特開 2012-198197 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 2012年10月18日
特表 2012-524391 EUV波長域用のミラー、そのようなミラーを備えるマイクロリソグラフィ用の投影対物鏡、およびそのような投影対物鏡を備えるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2012年10月11日
特開 2012-190041 光学素子操作装置 2012年10月 4日
特開 2012-186508 マイクロリソグラフィ投影対物レンズ 2012年 9月27日
特開 2012-185503 反射屈折投影対物系 2012年 9月27日
特表 2012-523126 汚染を回避する方法及びEUVリソグラフィ装置 2012年 9月27日
特開 2012-186466 マイクロリソグラフィ投影露光機の製造方法、対応する投影露光機及びそのための投影対物レンズ 2012年 9月27日
特表 2012-522275 結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2012年 9月20日
特表 2012-522358 EUVマイクロリソグラフィ用の照明光学系、この種の照明光学系用のEUV減衰器、及びこの種の照明光学系を有する照明系及び投影露光装置 2012年 9月20日
特表 2012-522257 光学アセンブリ 2012年 9月20日
特表 2012-522273 結像光学系及びこの種の結像光学系を備えたマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 2012年 9月20日
特開 2012-178573 EUVリソグラフィ用照明システム及びこの種の照明システムに使用する第1及び第2の光学要素 2012年 9月13日

89 件中 16-30 件を表示

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2012-212910 2012-209584 2012-526368 2012-198197 2012-524391 2012-190041 2012-186508 2012-185503 2012-523126 2012-186466 2012-522275 2012-522358 2012-522257 2012-522273 2012-178573

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