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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特表 2011-521445	フーリエ光学系を含む照明系	2011年 7月21日
特開 2011-138164	偏光変調光学素子	2011年 7月14日
特表 2011-520240	制御可能な光学素子、熱アクチュエータによる光学素子の操作方法および半導体リソグラフィのための投影露光装置	2011年 7月14日
特表 2011-520271	マイクロリソグラフィ投影露光装置の物体平面に走査積分照明エネルギを設定するための構成要素	2011年 7月14日
特開 2011-135087	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2011年 7月 7日
特表 2011-519172	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を含む照明系並びに投影露光装置	2011年 6月30日
特開 2011-124584	ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット	2011年 6月23日
特表 2011-517786	マイクロリソグラフィのための投影対物系	2011年 6月16日
特表 2011-517843	照明光学系及び投影露光装置	2011年 6月16日
特表 2011-517071	洗浄モジュール、及び洗浄モジュールを備えたＥＵＶリソグラフィ装置	2011年 5月26日
特表 2011-517074	マイクロリソグラフィ投影露光用の装置および基板の表面を検査するための装置	2011年 5月26日
特表 2011-517101	光学アパーチャ装置	2011年 5月26日
特表 2011-517072	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の投影照明系	2011年 5月26日
特表 2011-514687	洗浄モジュール，ＥＵＶリソグラフィ装置及びそれらの洗浄方法	2011年 5月 6日
特表 2011-512659	マイクロリソグラフィのための投影露光装置に使用するファセットミラー	2011年 4月21日

67 件中 31-45 件を表示

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2011-521445 2011-138164 2011-520240 2011-520271 2011-135087 2011-519172 2011-124584 2011-517786 2011-517843 2011-517071 2011-517074 2011-517101 2011-517072 2011-514687 2011-512659

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