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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特表 2013-535105	光学システム	2013年 9月 9日
特表 2013-535104	リソグラフィマスクを使用して生成された放射分布の局所解像測定用装置および方法	2013年 9月 9日
特表 2013-533633	ＥＵＶ露光装置	2013年 8月22日	共同出願
特表 2013-533632	ファセットミラーデバイス	2013年 8月22日
特表 2013-533615	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2013年 8月22日
特表 2013-532381	ＥＵＶリソグラフィ用のマスク、ＥＵＶリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法	2013年 8月15日
特開 2013-157636	反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物系	2013年 8月15日
特表 2013-530526	マイクロリソグラフィ投影装置のための光学系	2013年 7月25日
特表 2013-530534	マイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を有する投影露光系	2013年 7月25日
特表 2013-530517	ＥＵＶリソグラフィ用ミラーの基板およびその製造方法	2013年 7月25日
特開 2013-145892	光学要素ユニット	2013年 7月25日
特表 2013-527986	リソグラフィ系の光学要素の操作を含むリソグラフィ系を作動させる方法	2013年 7月 4日
特表 2013-527988	マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系	2013年 7月 4日
特表 2013-526071	ＥＵＶコレクター	2013年 6月20日
特表 2013-526022	結像光学系及びそのような結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置	2013年 6月20日

93 件中 31-45 件を表示

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2013-535105 2013-535104 2013-533633 2013-533632 2013-533615 2013-532381 2013-157636 2013-530526 2013-530534 2013-530517 2013-145892 2013-527986 2013-527988 2013-526071 2013-526022

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