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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第383位 96件
(2013年:第430位 93件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第284位 137件
(2013年:第457位 78件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特表 2014-525137 | ファセットミラーデバイス | 2014年 9月25日 | |
特開 2014-167655 | 結像光学系及びこの種の結像光学系を含むマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 | 2014年 9月11日 | |
特開 2014-167660 | 投影対物器械を製造する方法及びこの方法によって製造される投影対物器械 | 2014年 9月11日 | |
特開 2014-168080 | マイクロリソグラフィ用の照明光学系及び光学系 | 2014年 9月11日 | |
特開 2014-168095 | 光学結像装置 | 2014年 9月11日 | |
特表 2014-523118 | EUVリソグラフィ用の反射光学素子を製造する方法 | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-523136 | 投影リソグラフィのための照明光学ユニット | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-160257 | 光学モジュール | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-160241 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の素子を作動させる機構 | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-521204 | 個々に能動的に支持されたコンポーネントを有する光学結像装置 | 2014年 8月25日 | |
特表 2014-521228 | 劣化抑制手段を備えた光学アセンブリ | 2014年 8月25日 | |
特表 2014-520399 | 投影機構 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-146814 | マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための照明システム | 2014年 8月14日 | |
特表 2014-519186 | 投影露光装置の素子を作動させる機構 | 2014年 8月 7日 | |
特開 2014-143445 | マイクロリソグラフィ投影対物レンズ | 2014年 8月 7日 |
96 件中 31-45 件を表示
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2014-525137 2014-167655 2014-167660 2014-168080 2014-168095 2014-523118 2014-523136 2014-160257 2014-160241 2014-521204 2014-521228 2014-520399 2014-146814 2014-519186 2014-143445
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